アプリケーション事例
半導体・液晶製造装置に
■ 噴射する液剤を均一に付着させるため、スピンナー軸の回転や、液剤の流量などを表示・監視
計測でできること
■ 軸や駆動部の検証に
■ センサ・回転速度計などは、装置部品として組み込みも可能
選定ポイント
１．流量計測
■ 微少流量からの計測が可能(XFSシリーズ)
■ 広流量範囲、高温度、高耐圧(VCシリーズ)
■ 0.5ms(TDP-4921)、0.1ms(SPD-2401)、1ms(TDP-3621)のアナログ出力により瞬時流量を計測
２．回転速度計測
■ 0.5ms(TDP-4921)、0.1ms(SPD-2401)、1ms(TDP-3621)のアナログ出力により軸の回転速度を計測
３．センシング
■ 高分解能ロータリーエンコーダ
製品紹介
| 関連ページリンク | 製品 | ポイント | 概要 | |
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| 製品ページ |
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XFSシリーズ | 容積式流量計。特殊な楕円形歯車により圧力損失が少なく、微少流量域から大流量域まで高精度に計測。 | |
| 製品ページ |
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VCシリーズ |
クラハト社製の容積式流量計。高精度・高分解能・広流量範囲・高温度範囲・ 高耐圧の歯車式容積式流量計。 低粘度から高粘度までシリーズにより対応可能。 |
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| 製品ページ |
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TDP-4921 |
パルス出力型センサとの接続により回転計/速度計/流量計/周波数計などの用途にご使用いただける可逆計測可能な回転速度計。 |
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| 製品ページ |
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SPD-2401 |
周波数計、回転計、流量計、速度計などに ご使用いただける24x48サイズの速度計。 16bitアナログ出力(0.1ms)とCAN出力(1ms)が同時出力でき、USBで給電/ロギング/設定が可能な「LINKSHIP」対応製品です。 |
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| 製品ページ |
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TDP-3621 | パルス出力型センサとの接続により回転計/速度計/流量計/周波数計などの用途にご使用いただける回転速度計です。単相信号のみ入力可能です。 | |
| 製品ページ |
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ロータリーエンコーダ |
マイクロテック・ラボラトリー㈱製のロータリーエンコーダ。 超小型、中空、堅牢型、薄型など多様なバリエーション。 φ5mm～100mmの幅広い形状から、高精度検出可能な光学式、ローコストな磁気式をラインナップ。 インクリメンタルエンコーダはココリサーチ製品と好相性。 |
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関連計測キーワード
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